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四探針測(cè)試儀 四探針測(cè)試儀 電阻性能測(cè)試儀

  • 簡(jiǎn)單描述
  • RTS-5型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
  • 產(chǎn)品型號(hào):  DL07-RTS-5
  • 更新時(shí)間:  2024-11-24
  • 訪問次數(shù):  2005
詳細(xì)介紹

四探針測(cè)試儀 四探針分析儀 電阻性能測(cè)試儀

型號(hào):DL07-RTS-5

儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

RTS-5型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

RTS-5型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。

測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技 術(shù) 指 標(biāo) :

測(cè)量范圍 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴(kuò)展);

方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴(kuò)展);

電導(dǎo)率:0.005~1000 s/cm;

電阻:0.001~200Ω.cm;

可測(cè)晶片厚度 ≤3mm

可測(cè)晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái));

200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái));

400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái));

恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    

分辨力:10μV;

輸入阻抗:>1000MΩ;

精度:±0.1% ;

顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;

四探針探頭基本指標(biāo) 間距:1±0.01mm;

針間絕緣電阻:≥1000MΩ;

機(jī)械游移率:≤0.3%;

探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;

探針壓力:5~16 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差

( 按JJG508-87進(jìn)行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差 (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4%

計(jì)算機(jī)通訊接口 并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度:23±2℃;

相對(duì)濕度:≤65%;

無高頻干擾;

無強(qiáng)光直射;

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地址:北京市昌平區(qū)西三旗龍旗廣場(chǎng)2號(hào)樓

:李

 

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